生物實(shí)驗(yàn)室 微電子無(wú)塵凈化車間方案
凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。
無(wú)塵車間工程是指按照客戶的要求,提供對(duì)微粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物的有效控制,溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動(dòng)、靜電等各項(xiàng)指標(biāo)均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無(wú)塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo),使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個(gè)滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作,從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率,改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。
生物實(shí)驗(yàn)室 微電子無(wú)塵凈化車間方案
潔凈房采用夾層彩鋼板隔離空間或墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹(shù)脂鋪成使用范圍:主要針對(duì)醫(yī)藥、食品潔凈廠房,各級(jí)實(shí)驗(yàn)室、電子廠、各種級(jí)別醫(yī)院手術(shù)室、化妝品廠、動(dòng)物飼養(yǎng)房和精密儀器潔凈間的工程設(shè)計(jì)、安裝維護(hù)成套服務(wù)。
空氣中的微生物無(wú)處不在,并常附著在塵埃粒子上,隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播??諝庵械膲m埃粒子越多,細(xì)菌附著在塵埃粒子上的機(jī)會(huì)越大,傳播的機(jī)會(huì)也增加。同樣,病毒也會(huì)附著在塵粒上并進(jìn)行傳播。因此,控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。
各種微生物的大小可如圖1-1所示。大部分微生物在于0.3µm。病毒是最小的微生物,大約在0.005µm以上,其次是立克次氏體。細(xì)菌種類很多,多數(shù) 在空氣中以群體形式存在。常見(jiàn)的細(xì)菌大小為5.5~6.5µm,真菌為3.1~3.9µm,采用高效空氣過(guò)濾器(0.5µm,過(guò)濾效率≥99.9%)基本 上可將它們除去。